삼성 이재용 부회장, 네덜란드 ASML와  EUV 노광 장비 공급에 대해 논의 

반도체 미세 공정에 필수적인 EUV 노광 장비

원활한 EUV 장비 공급을 위해 이재용 부회장 네덜란드 총리와 ASML 본사에 찾아가

[위즈덤 아고라 / 김현동 기자] 삼성전자 이재용 부회장은 반도체 생산에 필수적인 EUV 노광장비를 원활하게 공급받기 위해 네덜란드 장비 업체 ASML를 방문하고 귀국했다. 유럽 출장을 다녀온 이재용 부회장은 반도체를 선도하기 위해 가장 중요한 것이 ‘기술’이라며 반도체 장비기술을 강조했다. 

삼성전자는 상반기 중 3 나노 양산을 시작한다고 밝혔는데, 이에 따라 삼성전자는 파운드리 업계 1위 TSMC보다 초미세 공정 도입 계획에서 반년을 앞서게 된다. 그리고 미세공정을 위해서는 이를 뒷받침할 장비가 필수적이다. 

2022년 6월 14일, 이 부회장은 네덜란드 벨트호벤에 위치한 ASML 본사를 방문해 최고경영자(CEO) 페터르 베닝크와 최고기술책임자(CTO) 마르틴 판덴 브링크 등 ASML 경영진을 만나 양측 간 협력 강화 방안에 대해 논의했다. 특히, 반도체 시장에 대한 전망, 미래 반도체 기술 경향, 극자외선(EUV) 노광 장비 수급, 양사 중장기 사업 방향 등에 관해 협의했다. 네덜란드 ASML 본사에 방문한 것은 2020년 10월에 방문한 이후 20개월 만이다.

ASML은 EUV 노광장비를 전 세계에서 독점적으로 생산하는 업체로 반도체의 미세 공정을 위해 필수적으로 공급받아야 한다. 노광 공정은 반도체에 회로 패턴을 그리는 과정으로, 회로의 선폭이 가늘수록 고성능, 고용량, 저전력 반도체 생산이 가능하다. 기존에는 불화아르곤 노광원을 이용해 패턴을 형성했지만 7나노미터 이하의 미세공정에서 이보다 짧은 파장을 지닌 극자외선이 필수이기 때문에 파운드리 반도체 생산에서 EUV 노광장비는 필수적인 존재이다. 

ASML에 의하면 한 해 연간 최대 노광장비를 50대 생산할 수 있으며 기존에는 TSMC와 삼성전자 두 곳에서만 공급을 받았지만 최근 여러 기업이 계약 체결을 앞두고 있다. 미국의 인텔 역시 파운드리 반도체 산업에 진출을 선언했고 메모리 반도체 산업도 미세 공정에 EUV 노광장비가 필요하기 때문에 SK 하이닉스와 미국의 마이크론도 ASML의 주요 고객으로 부상하게 되면서 EUV 노광 장비의 넘쳐나는 수요와 부족한 공급으로 인해 기업 간 경쟁이 치열해지고 있다. 

삼성전자 이 부회장은 치열해지는 경쟁 속에서 안정적인 EUV 노광장비 공급을 받기 위해 방문한 것으로 알려졌다. 삼성전자는 올해 하반기에 평택 3공장(P3) 완공과 4공장 건설, 또 2024년 완공할 미국 텍사스주 테일러시에 위치한 파운드리 공장 건설을 완료하기 위해 EUV 노광 장비의 안정적인 수급이 필요하다. ASML에 의하면 삼성전자는 2021년에 25대, 올해에는 18대의 EUV 장비를 받을 것이라 보고되어 있지만 아직 경쟁사인 TSMC의 비해 60%에 머무르고 있다는 분석이 나온다. 

이번 ASML 본사 방문 이전 이 부회장은 마르크 뤼터 네덜란드 총리와 면담을 가져 반도체 관련한 협력 방안 및 ASML 장비의 안정적인 공급이 가능하도록 뤼터 총리에게 협조를 요청했다. 2022년 6월 15일에는 벨기에 루벵에 위치한 유럽 최대 규모 종합 반도체 연구소 IMEC에 방문해 뤼크 판덴호버 CEO와 만나 최첨단 반도체 공정기술, 인공지능, 생명공학, 미래 에너지 등 미래 관련 산업에 대해 전반적으로 논의했다.